第453章 破壁之光：在28纳米的极限处起舞 (2/3)

张克艰总工程师正坐在一台仪器前，戴着老花镜看数据。他今年六十二岁，本该退休的年纪，但此刻精神矍铄，像四十多岁的中年人。听到脚步声，他抬起头。

“温总，还没休息？”张克艰的声音温和而沉稳。

“张总工不也没休息。”温知秋在他旁边坐下，“许教授那边遇到架构问题，可能需要调整工艺方向。”

她把和许薇讨论的思路说了一遍。张克艰静静听着，手指在膝盖上轻轻敲击，这是他的思考习惯。

“专用芯片，asic路线……”张克艰喃喃自语，“这个思路是对的。我们当年搞军工芯片，最早也是从专用芯片起步的。通用cpu的门槛太高，但专用芯片可以绕开很多专利壁垒。”

他站起身，走到旁边的白板前：“温总，你看——如果做ai推理芯片，核心是矩阵乘法和卷积运算。这些运算可以用脉动阵列来实现，而脉动阵列对工艺的要求其实不高，关键是阵列规模和互联结构。”

他在白板上画出一个简单的架构图：“28纳米工艺，晶体管的特征尺寸是够用的。问题在于，如何在这个尺寸下实现高密度互联。传统的光刻工艺，金属线间距太大，限制了阵列规模。”

温知秋盯着白板：“张总工的意思是……”

“我们需要一种新的互连工艺。”张克艰眼睛发亮，“七〇三所去年研发了一种‘硅通孔’技术，可以在芯片内部打垂直通孔，实现多层三维堆叠。这个技术本来是给存储器用的，但如果用在计算芯片上……”

“可以实现超大规模阵列！”温知秋脱口而出。

“对！”张克艰兴奋地搓着手，“而且这个技术完全自主，不依赖任何进口设备。就是……工艺难度很大，良品率可能比平面工艺更低。”

“良品率低可以接受。”温知秋果断说，“专用芯片本来就是小批量、高价值。只要能做出来，良品率百分之十我们都认。”

张克艰看着她，眼神复杂：“温总，你可想好了。这个方案如果失败，可能比现在的处境更糟——既没保住传统芯片的产能，也没做出新型芯片。”

“但如果成功了呢？”温知秋反问，“如果我们用28纳米工艺，做出了相当于14纳米性能的专用芯片，这意味着什么？”

两人对视。车间里的机器嗡鸣声在背景中持续，像时代的心跳。

“这意味着……”张克艰缓缓说，“我们找到了一条完全自主的技术路线。不依赖先进工艺，不依赖进口设备，用华夏自己的智慧，在成熟工艺的极限处，跳出了一支新舞。”

温知秋站起身：“张总工，就这么干。我马上组织工艺组，配合你们的技术方案。许教授那边，新架构一周内出来。我们三线并进——”

她的话被突然响起的警报声打断。车间里的红灯开始闪烁，广播里传来急促的语音：“警告：三号刻蚀机真空度急剧下降，请相关人员立即处置！”

温知秋和张克艰同时冲向三号刻蚀机区域。设备监控屏上，真空度的数值正在断崖式下跌——从正常的10^-5帕斯卡，跌到10^-3，10^-2……

“密封圈破裂！”操作员脸色煞白，“温总，必须立刻停机，否则整个腔体都会污染！”

“停！”温知秋下令。

但已经晚了。刻蚀机的舱门打开时，一股刺鼻的化学气味涌出。温知秋看到腔体内壁上，原本银白色的金属表面已经变成了焦黑色——那是硅片和反应气体在异常条件下生成的聚合物，像一层厚厚的油污，糊住了整个腔体。

“完了……”操作员瘫坐在椅子上，“这台设备……废了。”

温知秋感觉自己的心沉到了冰底。三号刻蚀机是生产线上最关键的设备之一，负责芯片的图形转移。没有它，整个生产线都要停摆。而备用设备……根本没有。

她拿出手机，手指颤抖着找到林峰的号码，但在拨出的前一秒，停住了。

凌晨四点。林峰肯定在休息。而且就算告诉他，又能怎样？设备坏了就是坏了，这不是政策能解决的问题，这是硬生生的技术瓶颈。

“温总。”张克艰的声音在旁边响起，“让我看看。”

他走近设备，戴上手套，用手电筒照着腔体内壁，仔细检查那些污染物。几分钟后，他抬起头：“不是完全没救。”

温知秋猛地看向他。

“这种聚合物，主要成分是碳化硅和氟化物。”张克艰说，“七〇三所处理过类似的情况。我们有专用的清洗剂，可以溶解这种污染物，但……需要特殊的清洗设备，而且过程很危险，容易损伤腔体内壁的精密涂层。”

“成功率高吗？”

“百分之五十。”张克艰实话实说，“而且就算清洗成功，设备的精度也会下降。可能……再也达不到原来的水平了。”

百分之五十。赌还是不赌？

温知秋看着那台价值三千多万的设备，又看了看车间里其他还在运转的机器。如果这台设备报废，生产线产能会再下降百分之二十，良品率可能跌到百分之三十以下。但如果赌那百分之五十……

“张总工，清洗需要多久？”