第471章 晚霞行千里 (4/5)

芯片的输出信号开始驱动电机。电机嗡嗡响起来，丝杠开始自动转动，滑块向上爬升。

吕辰在验证板上拨了一个数字：10.000。

那是目标位置，单位毫米。

芯片程序里预设了这个目标。

电机继续转，读数头一路跟着，脉冲信号不断反馈回芯片。

数字表上的数字一路跳。

9.847……9.921……9.973……9.991……9.997……

越来越接近10.000。

最后停在9.999毫米。

误差1微米。

三个人盯着那个数字，谁都没说话。

示波器上，波形还在跳，方波整整齐齐，一列一列，像士兵的脚步。

电机嗡嗡地响着，声音低沉稳定，像一头刚刚被驯服的野兽。

诸葛彪咽了口唾沫，烟叼在嘴角，半天没点。

“再试一次。”他说，声音有点哑。

吕辰把目标改成25.000毫米。

电机又转起来，丝杠嗡嗡嗡，读数头一路向上，停在25.001毫米。

误差还是1微米。

钱兰轻轻吸了一口气：“精度够了，gca-201cgs光刻机工作台的要求，就是正负五微米，这远远达到了要求。”

吕辰又拨了一个数字，目标0.1毫米。

电机轻轻一抖，丝杠几乎看不出动，读数头微微挪了一点点。

数字表从25.001往下跳：25.001……24.998……24.995……

最后停在25.000毫米。

移动量0.001毫米，1微米。

诸葛彪把烟叼上，没点，就那么叼着，愣愣地看着那个数字。

“成了。”他说，烟在嘴角抖了抖，“真成了。”

钱兰长长地吐了口气，肩膀塌下去，整个人像被抽走了骨头。

吕辰站着，盯着那个数字，看了很久：“再试一次。”

诸葛彪又试了一次，目标改成50毫米。

电机转，滑块走，停在——49.998毫米。

误差两微米。

“再试。”

目标0.05毫米。

电机轻轻一抖，滑块几乎看不出动，数字表慢慢跳，最后停在50.000毫米。

误差零。

三个人盯着那个数字，谁都没说话。

过了很久，诸葛彪把烟点上了。

他狠狠吸了一口，然后吐出来，烟在空气中慢慢散开。

他指了指那个还在转的电机：“森格顿珠师傅走早了，他应该亲自见证。”

钱兰笑得眼睛有点红：“我写信告诉他。”

接下来几天，他们又搭建了一个更复杂的模拟系统。

一张两尺见方的铸铁平板，上面架着x轴和y轴两个滑台。

每个滑台都由一个电机驱动，丝杠传动，光栅尺反馈。

x轴行程200毫米，y轴行程150毫米。

他们把长光所送来的两把光栅尺都装上了，x轴一把，y轴一把。

重新焊出来两个驱动板，每块板子上一个gpmc-01芯片，专门控制一个轴。

控制程序写在二维卡上。

80*80的点位里，存着工件台的初始位置参数，然后是一串指令：