第471章 晚霞行千里 (2/5)

第十二颗——好的。

一直测到第十七颗，终于碰到一颗坏的。

输入短路，电流直接打到底。

“总算有坏的了。”诸葛彪松了口气，反而笑了，“不然我还以为见鬼了。”

六十颗芯片全部测完，钱兰把记录本摊在桌上，一页一页翻过去，最后在最后一页写下统计结果：

总片数：60片

功能完好：37片

局部故障：14片（多为个别引脚失效或速度略低）

完全失效：9片（短路、击穿、开路）

良率：61.7%

她把本子转过来，让吕辰和诸葛彪看。

“37颗能用。”她说，“比上一轮8颗，翻了四倍多。”

诸葛彪点上一根烟：“不枉我等当了一回反面教材，要是再不成，我都不知道怎么抬起头来了。”

钱兰也有点感慨：“这几乎是设计和工艺的推倒重来，有这样的提升在情理之中。”

吕辰拿起一颗好的芯片，在手里转了转：“万事俱备，就等光栅尺和脉冲发生器了。”

光栅尺是在三月底送到的，长光所的吴高工亲自送来，拎着一个木头箱子，像拎着宝贝似的。

他把箱子放在桌上，打开搭扣，掀开盖子。

里面垫着厚厚的绒布，两把玻璃尺躺在绒布凹槽里，尺身细长，透明，像两条冰做的尺子。

“吕工，这是你们要的光栅尺。”

吴高工介绍：“主尺250毫米，副尺150毫米。刻线密度每毫米100线，配合四细分，分辨率能到1.5微米。”

吕辰凑近了看，玻璃尺的表面，密密麻麻刻满了线条，细得像头发丝，用肉眼几乎看不清，只能在光线下隐隐约约看见一道道反光。

“这怎么刻出来的？”诸葛彪眼睛都快贴上去了。

“电子束刻。”吴高工骄傲的说道，“这可是我们所的独门技术，王先生说了，这一根尺子，外国人也就这水平，可惜读数头精度差了点，不然能到亚微米级。”

这的确值得骄傲。

吕辰道：“长光所果然名不虚传，您不如等几天，我们测试好了，把电机给您一起带回长光所。”

吴高工摆摆手：“你们慢慢测，如果不是要找陈副所长拿gca-201cgs的使用反馈，我是根本没时间跑这一趟的，第二代光刻机已经进入具体的方案论证环节，我的时间非常紧，陈副所长会亲自到长光所参与光刻机的研制，你们测试好后，到时候请他带来就可以了。”

长光所的人还是习惯称呼陈光远为副所长。

脉冲发生器是秦世襄教授的学生送来的，比光栅尺晚了两天。

是一个小盒子，里面是一块pc电路板，用旧报纸包着，外面缠着麻绳。

打开盒子，电路板露出来，巴掌大小，上面焊着石英晶体、三极管、电阻电容，手工布线，整整齐齐。

板子一角贴着一张白胶布，上面用钢笔写着三个字：脉冲源。下面还有一行小字：32.768khz，±5ppm。

“±5ppm。”诸葛彪念叨了一句，“一百万次只差五次，这精度……”

他把板子翻过来看背面，焊点圆润饱满，走线规整得像印刷上去的。

“西军电的人，手真稳。”

验证室被腾空了一半。

实验台靠墙摆开，从左到右依次是：脉冲发生器、示波器、gpmc-01验证板、电机驱动板、电机本体。

电机旁边架着一个简易工装，是请任长空搭建的。

一块铸铁平板，上面立着一根丝杠，丝杠上套着滑块，滑块上固定着读数头。

丝杠顶端装着一个手轮，摇动手轮，丝杠转，滑块上下移动。

光栅尺的尺身固定在工装上，读数头固定在滑块上。

滑块一动，读数头划过尺身，两路正交脉冲就出来了。

“先把手转跑通。”吕辰说。

诸葛彪坐到工装前，右手握住手轮，左手扶着滑块，像准备做什么精细手术似的。

“慢点转。”钱兰在旁边盯着示波器。

诸葛彪轻轻转动手轮，丝杠转一圈，滑块走4毫米。

读数头划过光栅尺，示波器上开始跳波形。

两路方波，一前一后，像两个错开半步的士兵。

“相位差90度。”钱兰盯着波形，“方向能判了。”